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제품소개

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진공 브레이징 - 반도체 Heater 부품

제품분류 진공 브레이징
제품명 반도체 Heater 부품
특징 Heater는 반도체 제조 공정 중 CVD, Etch공정에 사용되는 반도체 장비의 핵심부품입니다.
반도체 실리콘 웨이퍼와 직접 컨택하면서, 웨이퍼의 전 영역을 균일하게 최소 온도편차를 유지하며 가열하는 것이 Heater의 핵심기술입니다.
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