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진공 브레이징 - 반도체 Heater 부품
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제품분류 | 진공 브레이징 |
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제품명 | 반도체 Heater 부품 |
특징 | Heater는 반도체 제조 공정 중 CVD, Etch공정에 사용되는 반도체 장비의 핵심부품입니다.
반도체 실리콘 웨이퍼와 직접 컨택하면서, 웨이퍼의 전 영역을 균일하게 최소 온도편차를 유지하며 가열하는 것이 Heater의 핵심기술입니다. |
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Brazing · Glass Sealing 전문 (주)케이엔제이브레이즈
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제품분류 | 진공 브레이징 |
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제품명 | 반도체 Heater 부품 |
특징 | Heater는 반도체 제조 공정 중 CVD, Etch공정에 사용되는 반도체 장비의 핵심부품입니다.
반도체 실리콘 웨이퍼와 직접 컨택하면서, 웨이퍼의 전 영역을 균일하게 최소 온도편차를 유지하며 가열하는 것이 Heater의 핵심기술입니다. |